電子光學(xué)凈化工程
安徽半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車(chē)間凈化裝修工程
來(lái)源：m.goldchem.com.cn 作者：空氣好凈化
發(fā)布時(shí)間:2025-12-08 15:24:10點(diǎn)擊:次
本次呈現(xiàn)的半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠(chǎng)房整體風(fēng)格簡(jiǎn)約專(zhuān)業(yè)，兼具工業(yè)嚴(yán)謹(jǐn)性與潔凈生產(chǎn)適配性。廠(chǎng)房外立面采用淺灰色工業(yè)涂層搭配大面積隔音保溫玻璃，既保障建筑密封性，又滿(mǎn)足車(chē)間自然采光需求，入口區(qū)域預(yù)留潔凈風(fēng)淋室安裝位，從源頭把控潔凈度。
車(chē)間統(tǒng)一遵循半導(dǎo)體級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，地面為淺灰色防靜電環(huán)氧地坪，墻面采用白色無(wú)縫抗菌涂層，消除清潔死角。各車(chē)間功能精準(zhǔn)分區(qū)：外延生長(zhǎng)車(chē)間預(yù)留恒溫恒濕及氣體管路接口，適配高純度氣體輸送；光刻車(chē)間采用密閉避光設(shè)計(jì)，預(yù)留高效過(guò)濾送回風(fēng)系統(tǒng)；蝕刻車(chē)間強(qiáng)化耐腐蝕處理，配備排風(fēng)凈化預(yù)留接口；封裝測(cè)試車(chē)間規(guī)劃分區(qū)工位，預(yù)留精密檢測(cè)設(shè)備安裝基礎(chǔ)。
全車(chē)間層高統(tǒng)一達(dá)5米，預(yù)留管線(xiàn)鋪設(shè)與設(shè)備安裝空間，地面隱形標(biāo)識(shí)劃分人流、物流通道，墻面預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)化電源及監(jiān)測(cè)接口。整體設(shè)計(jì)既符合半導(dǎo)體器件生產(chǎn)對(duì)潔凈、防靜電、防污染的嚴(yán)苛要求，又通過(guò)統(tǒng)一風(fēng)格實(shí)現(xiàn)廠(chǎng)房?jī)?nèi)外視覺(jué)協(xié)調(diào)，為高效合規(guī)生產(chǎn)奠定基礎(chǔ)。
